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SGC-1A 椭圆偏振测厚仪

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服务保障: 原厂质保
产品品牌: 天津港东
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    编号

    名称

    参数

    1

    测量范围

    1nm-300nm

    2

    测量最小值

    1nm

    3

    入射角

    30°~90°误差≤0.1°

    4

    偏振器方位角读数范围

    0°~180°

    5

    度盘刻度

    每格2

    6

    游标最小读数

    0.05°

    7

    光学中心高度

    152mm

    8

    工作台直径

    φ70mm

    9

    外形尺寸

    730mm×230mm×290mm

    10

    主机重量

    20kg